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    雅科貝思廠家代理
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    AFXS直線電機平臺

    AFXS直線電機平臺

    直線電機平臺用于晶圓、藍寶石等檢測，由Akribis高性能無鐵芯直線電機驅動；XY軸采用交叉滾柱導軌，中空結構，內置光柵系統。分辨率50nm，重復定位精度可達士0.75um，絕對定位精度2um；有效行程70*70mm，最大速度200mm/s；可定制。
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    產品詳情

    Akribis雅科貝思直線電機平臺


    AFXS直線電機平臺：參數



    		X軸
    		Y軸

    行程


    		70mm70mm
    分辨率50nm50nm
    定位精度±2μm  ±2μm
    重復度±0.75 μm±0.75 μm
    平面度±3.5 μm
    直線度±3.5 μm
    最大速度200 mm/s
    建議負載重量< 1 Kg
    中空尺寸90 * 110 mm

    XY軸正交度

    		10 arc sec


    AFXS直線電機平臺


    AFXS直線電機平臺.

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